Установка предназначена для нанесения поли-пара-ксилиленовых покрытий на печатные платы, блоки электронной аппаратуры, изделия микроэлектроники.
ТЕХНОЛОГИЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ
Нанесение полимерной пленки производится методом вакуумного осаждения из газовой фазы паров продуктов пиролиза ди-пара-ксилилена (или его хлорпроизводных) на поверхности изделий, с одновременной полимеризацией, при давлении паров 0, 005-0.05 мм.рт.ст.
ОСОБЕННОСТИ КОНСТРУКЦИИ
Основой конструкции стала выпускавшаяся в 80-е годы установка ВЗ901, из которой заимствована камера осаждения, устройство охлаждения потока, каркас, обшивка. Сохранены, хотя и с принципиальными доработками, основные конструктивные элементы испарителя, пиролизатора и вакуумной системы.
Полностью заменена система управления и регулирования технологических параметров. Установлены современные датчики и микропроцессорные вторичные преобразователи вакуума, микропроцессорные регуляторы температуры.
Система управления установкой ВЗ901М сохранила принципиальные технические решения, примененные ООО "Базальт" в первой из разработанных им установок (УНБ1): двухуровневая система управления с микропроцессорными регуляторами температуры на нижнем уровне управления, объединенными в локальную сеть интерфейсом RS485 и связанными с верхним уровнем через преобразователь интерфейса RS485/RS232 и отдельный COM-порт для подключения прибора контроля роста пленки.
В то же время, возможности программного обеспечения в установке ВЗ901М, по сравнению с установкой УНБ1, значительно расширены. Впервые в установке нанесения поли-пара-ксилиленового покрытия реализовано программное управление процессом нанесения покрытия. Автоматизировано ведение самых трудоемких этапов технологического процесса - нанесения покрытия с заданной скоростью роста пленки и завершающего этапа процесса, проводимого до полного испарения димера.
Установка выполнена по модульному принципу: каждая технологическая операция выполняется функционально и конструктивно законченным модулем, все модули состыкованы между собой и установлены на общем каркасе. На этом же каркасе установлены пульты управления и 2 шкафа электроавтоматики. Компьютер и блок бесперебойного питания устанавливаются на отдельном компьютерном столе.
При разработке установки особое внимание было уделено удобству обслуживания и ремонтопригодности: любое устройство электроавтоматики доступно для проверки и замены (ремонта) без демонтажа других устройств установки.
