Установка магнетронного напыления ЭТНА-М

RU-1000 Рейтинг
Установка магнетронного напыления ЭТНА-М

Малогабаритная установка магнетронного напыления ETNA-M


Установка магнетронного напыления ETNA-M предназначена для осаждения металлических  слоев. Реактор выполнен из нержавеющей стали с верхним фланцем, несущим на себе функцию нагрева образцов. На нижнем фланце располагается водоохлаждаемый магнетрон с питанием постоянным током. Ориентирована на лабораторное исследовательское и образовательное применение, а также мелкосерийное производство.


Технические параметры:


поштучная обработка образцов диаметром до 100 мм;расположение – лицом вниз;максимальная температура нагрева – 350 ºС;диаметр используемых мишеней – 76 мм;мощность источника постоянного тока 1100 Вт;напряжение максимальное – 1000 В;откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;количество газовых каналов – один с  максимальным расходом 20 см3/мин;способ регулирования - электронный регулятор;предельный вакуум – 10-6  торр;управление –  автоматическое от ПК или ручное;контроль давления – с использованием химически стойкого  мембранного датчика, блокировки на открытие клапанов; рабочее давление в реакторе – порядка  0.5 Па, определяется потоком газа через магнетрон;инфраструктурные требования – сжатый воздух;питание  - 220 В, не более 3 кВт;масса не более 350 кг;


    Дополнительные возможности по требованию заказчика


ионный источник с замкнутым дрейфом электронов, устанавливаемый вместо магнетрона;питание ионного источника – постоянным током от дополнительного контроллера;

Вас также могут заинтересовать

Установка для раздачи масла Pressol 1500 л шланг 10 м на катушке 19004 351

Артикул19004 351Рейтинг3Модель1500 л шланг 10 м на катушке 19004 351Вес, кг151Длина шланга, м10

Установка алмазного бурения REKON Быстрораспорная штанга (L=3 м)

Артикул12000Рейтинг4МодельБыстрораспорная штанга (L=3 м)Вес, кг5Длина лодки, мм3000Страна производительВеликобритания
Внимание!
Информация по Установка магнетронного напыления ЭТНА-М предоставлена компанией-поставщиком ООО «СИТЭК». Для того, чтобы получить дополнительную информацию, узнать актуальную цену или условия постаки, нажмите ссылку «Отправить сообщение».
Контакты компании
Город
Москва
Адрес
ул. Часовая, д. 28, корп. 4
Телефон
+7 (495) 532-09-99
Интернет
sitec.pro
Сделать запрос
Введите свое имя
Укажите свой Email
Напишите ваш вопрос
Подтвердите согласие